[实用新型]一种测试装置有效
| 申请号： | 202021814890.7 | 申请日： | 2020-08-26 |
| 公开（公告）号： | CN212905287U | 公开（公告）日： | 2021-04-06 |
| 发明（设计）人： | 冯利民 | 申请（专利权）人： | 苏州华兴源创科技股份有限公司 |
| 主分类号： | G01R31/28 | 分类号： | G01R31/28;G05D23/22;H01L21/67;H01L21/66 |
| 代理公司： | 北京品源专利代理有限公司 11332 | 代理人： | 胡彬 |
| 地址： | 215000 江苏省苏州*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及测试技术领域，公开一种测试装置。该测试装置包括载板、温度调节组件和冷却组件，载板用于承载待测试工件，温度调节组件包括半导体制冷片，半导体制冷片包括相对设置的上表面和下表面，载板的底面设置在上表面，半导体制冷片被配置为根据载板的温度以使上表面制冷或者制热。本实用新型提供的测试装置，通过设置半导体制冷片，半导体制冷片能够根据载板的温度以使上表面制冷或者制热，从而与载板进行换热，以使载板及放置于载板上的待测试工件的温度保持在预设测试温度范围内。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 测试 装置 | ||
【主权项】：
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