[实用新型]一种磁悬浮分子泵位移传感器的检测工装有效
| 申请号： | 202021676665.1 | 申请日： | 2020-08-12 |
| 公开（公告）号： | CN212512960U | 公开（公告）日： | 2021-02-09 |
| 发明（设计）人： | 陈林;刘强;张亮;任世瑜 | 申请（专利权）人： | 北京中科九微科技有限公司 |
| 主分类号： | G01B21/02 | 分类号： | G01B21/02 |
| 代理公司： | 北京三聚阳光知识产权代理有限公司 11250 | 代理人： | 秦广成 |
| 地址： | 101111 北京市大兴区经济技术开发区*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本实用新型提供的一种磁悬浮分子泵位移传感器的检测工装，属于检测设备技术领域，包括：XYZ移动平台，安装在底板上；测试件固定架，连接在XYZ移动平台上，具有用于连接测试件的伸出端和可拆卸地竖直连接在所述伸出端上的连接杆；测试件，连接在所述连接杆的底端；所述测试件具有：底部平面和弧形侧壁面；或者，所述测试件包括:第一测试件和第二测试件，所述第一测试件具有底部平面，所述第二测试件具有侧壁弧形面；本实用新型的磁悬浮分子泵位移传感器的检测工装，结构简单，测量精准，可反复使用，在同一个工装下，只需更换测试件，即可实现不同传感器的测量。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 磁悬浮 分子 位移 传感器 检测 工装 | ||
【主权项】：
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