[实用新型]一种磁悬浮分子泵位移传感器的检测工装

权利要求书

1.一种磁悬浮分子泵位移传感器的检测工装，其特征在于，包括：

XYZ移动平台(1)，安装在底板(5)上；

测试件固定架，连接在XYZ移动平台(1)上，具有用于连接测试件的伸出端和可拆卸地竖直连接在所述伸出端上的连接杆(29)；

测试件，连接在所述连接杆(29)的底端；

所述测试件具有：底部平面和弧形侧壁面；

或者，所述测试件包括：第一测试件(3)和第二测试件(4)，所述第一测试件(3)具有底部平面，所述第二测试件(4)具有侧壁弧形面(14)。

2.根据权利要求1所述的磁悬浮分子泵位移传感器的检测工装，其特征在于，所述测试件固定架的伸出端上具有适于竖直插入所述连接杆(29)的穿过孔(11)，所述穿过孔(11)的侧壁上具有开口，所述开口的两侧分别具有朝向径向方向延伸的延伸板(12)。

3.根据权利要求2所述的磁悬浮分子泵位移传感器的检测工装，其特征在于，两个所述延伸板(12)的延伸段上分别具有适于穿入同一紧固件的通孔(13)。

4.根据权利要求1所述的磁悬浮分子泵位移传感器的检测工装，其特征在于，所述第二测试件(4)具有对称设置的两个侧壁弧形面(14)。

5.根据权利要求4所述的磁悬浮分子泵位移传感器的检测工装，其特征在于，所述第二测试件(4)还具有对称设置的两个侧壁垂直面(15)。

6.根据权利要求5所述的磁悬浮分子泵位移传感器的检测工装，其特征在于，所述第二测试件(4)的上表面具有螺纹孔(30)；所述连接杆(29)上设置有与所述螺纹孔(30)配合的外螺纹。

7.根据权利要求1所述的磁悬浮分子泵位移传感器的检测工装，其特征在于，所述测试件固定架包括：

竖板(6)，与XYZ移动平台(1)连接；

横板(7)，垂直于所述竖板(6)设置，朝向所述测试件延伸；

悬臂(8)，一端与横板(7)连接，另一端具有适于竖直插入所述连接杆(29)的穿过孔(11)。

8.根据权利要求7所述的磁悬浮分子泵位移传感器的检测工装，其特征在于，所述横板(7)上设置与悬臂(8)的延伸方向一致的凹槽(9)，所述悬臂(8)卡接于所述凹槽(9)内。

9.根据权利要求8所述的磁悬浮分子泵位移传感器的检测工装，其特征在于，所述悬臂(8)的下表面靠近所述横板(7)的一端设置有限位面(10)，所述限位面(10)与所述横板(7)的侧壁抵接。