[实用新型]一种磁悬浮分子泵位移传感器的检测工装

说明书

本实用新型提供的一种磁悬浮分子泵位移传感器的检测工装，属于检测设备技术领域，包括：XYZ移动平台，安装在底板上；测试件固定架，连接在XYZ移动平台上，具有用于连接测试件的伸出端和可拆卸地竖直连接在所述伸出端上的连接杆；测试件，连接在所述连接杆的底端；所述测试件具有：底部平面和弧形侧壁面；或者，所述测试件包括:第一测试件和第二测试件，所述第一测试件具有底部平面，所述第二测试件具有侧壁弧形面；本实用新型的磁悬浮分子泵位移传感器的检测工装，结构简单，测量精准，可反复使用，在同一个工装下，只需更换测试件，即可实现不同传感器的测量。

技术领域

本实用新型涉及检测设备技术领域，具体涉及一种磁悬浮分子泵位移传感器的检测工装。

背景技术

位移传感器是一种属于金属感应的线性器件，传感器的作用是把各种被测物理量转换为电量。在测量距离时，直接使用位移传感器实测的输出数据，但是随着使用时间的增长，位移传感器精度下降，造成了位移传感器精度低、重复性差等缺点，通常使用校正装置进行校准。

在测量的过程中，都是针对单探头的测量，通过千分尺与测试件相连，通过对比位移传感器显示的数据和千分尺的数据，实现位移传感器的校准。

在使用过程中，需要将单探头安装到用于固定的安装座上，构成轴向传感器或径向传感器，但是在现有技术中，对于这种轴向传感器和径向传感器需要在不同的工装下分别检测。

实用新型内容

因此，本实用新型要解决的技术问题在于克服现有技术中的一个检测工装无法对轴向和径向传感器均进行测量的缺陷，从而提供一种磁悬浮分子泵位移传感器的检测工装。

本实用新型提供的一种磁悬浮分子泵位移传感器的检测工装，包括：

XYZ移动平台，安装在底板上；

测试件固定架，连接在XYZ移动平台上，具有用于连接测试件的伸出端和可拆卸地竖直连接在所述伸出端上的连接杆；

测试件，连接在所述连接杆的底端；

所述测试件具有：底部平面和弧形侧壁面；

或者，所述测试件包括：第一测试件和第二测试件，所述第一测试件具有底部平面，所述第二测试件具有侧壁弧形面。

作为优选方案，所述测试件固定架的伸出端上具有适于竖直插入所述连接杆的穿过孔，所述穿过孔的侧壁上具有开口，所述开口的两侧分别具有朝向径向方向延伸的延伸板。

作为优选方案，两个所述延伸板的延伸段上分别具有适于穿入同一紧固件的通孔。

作为优选方案，所述第二测试件具有对称设置的两个侧壁弧形面。

作为优选方案，所述第二测试件还具有对称设置的两个侧壁垂直面。

作为优选方案，所述第二测试件的上表面具有螺纹孔；所述连接杆上设置有与所述螺纹孔配合的外螺纹。

作为优选方案，所述测试件固定架包括：

竖板，与XYZ移动平台连接；

横板，垂直于所述竖板设置，朝向所述测试件延伸；

悬臂，一端与横板连接，另一端具有适于竖直插入所述连接杆的穿过孔。

作为优选方案，所述横板上设置与悬臂的延伸方向一致的凹槽，所述悬臂卡接于所述凹槽内。

作为优选方案，所述悬臂的下表面靠近所述横板的一端设置有限位面，所述限位面与所述横板的侧壁抵接。

本实用新型技术方案，具有如下优点：