[实用新型]一种锂离子电池基材表面镀膜机构

摘要

本实用新型公开了一种锂离子电池基材表面镀膜机构，包括真空箱体、升降驱动件、溅射镀膜装置，溅射镀膜装置包括支撑连接板、屏蔽罩和阴极结构，阴极结构固定连接在屏蔽罩内，支撑连接板的下方固定连接有遮挡板，遮挡板上均匀开设有多个矩形孔；水冷装置的底端与阴极结构对应，本实用新型通过设置屏蔽罩阻挡靶材向周围溅射，同时保证阴极溅射稳定和膜层厚度一致性较好，并通过设置在靶材与基材之间的遮挡板，使得通过矩形孔溅射到基材上形成的膜层形状规则，并且镀膜层宽度与矩形孔宽度相同，每条镀膜层之间均有间隙，方便后续切割和连接电极线；并且可以通过水冷装置对阴极结构进行降温，提高使用寿命。