[实用新型]一种锂离子电池基材表面镀膜机构

权利要求书

1.一种锂离子电池基材表面镀膜机构，用于对传动机构驱动的基材在真空条件下对表面分别镀铝膜以及铜膜，其特征在于，包括：

真空箱体(1)；

升降驱动件(2)，所述升降驱动件(2)设置在所述真空箱体(1)的外部顶端，其驱动杆贯穿所述真空箱体(1)的顶板与内部的溅射镀膜装置固定连接；

溅射镀膜装置，所述溅射镀膜装置包括支撑连接板(3)、屏蔽罩(4)和阴极结构(5)，所述阴极结构(5)固定连接在所述屏蔽罩(4)内，且所述阴极结构(5)的底部设有阴极靶材，所述屏蔽罩(4)的顶部与所述支撑连接板(3)通过水冷连接件(9)固定连接，所述支撑连接板(3)的下方固定连接有遮挡板(6)，所述遮挡板(6)上均匀开设有多个矩形孔；

水冷装置，所述水冷装置设置在所述真空箱体(1)中，包括水冷软管(7)、水冷接头(8)和所述水冷连接件，所述水冷连接件(9)为贯穿所述支撑连接板(3)的管状结构，所述水冷连接件(9)的底端与所述阴极结构(5)对应；所述水冷接头(8)设置在所述真空箱体(1)的顶部并外接冷却水，所述水冷软管(7)一端连接所述水冷接头(8)的底端，另一端与所述水冷连接件(9)的顶端连通。

2.根据权利要求1所述的一种锂离子电池基材表面镀膜机构，其特征在于，所述升降驱动件(2)为液压缸或气缸的一种。

3.根据权利要求1所述的一种锂离子电池基材表面镀膜机构，其特征在于，所述驱动杆与所述真空箱体(1)的连通处设有密封结构。

4.根据权利要求1所述的一种锂离子电池基材表面镀膜机构，其特征在于，所述矩形孔的长度100-110mm。

5.根据权利要求1所述的一种锂离子电池基材表面镀膜机构，其特征在于，还包括控制器和超声波测厚仪，所述控制器分别与所述超声波测厚仪、所述阴极结构电连接。