[实用新型]一种蒸镀速率测量装置及蒸镀设备有效
| 申请号： | 202021332795.3 | 申请日： | 2020-07-07 |
| 公开（公告）号： | CN212983043U | 公开（公告）日： | 2021-04-16 |
| 发明（设计）人： | 齐家元;李小东 | 申请（专利权）人： | 合肥欣奕华智能机器有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/54 | 分类号： | C23C14/54;C23C14/24 |
| 代理公司： | 北京同达信恒知识产权代理有限公司 11291 | 代理人： | 李迪 |
| 地址： | 230013 安徽省合*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及蒸镀技术领域，公开了一种蒸镀速率测量装置及蒸镀设备，该蒸镀速率测量装置包括：至少两个石英晶体微天平；切换机构，所述切换机构的输入端可选择的与所述至少两个石英晶体微天平中一个石英晶体微天平电连接，以用于切换所述至少两个石英晶体微天平；振荡器，所述振荡器与所述切换机构的输出端电连接；信号处理机构，所述信号处理机构与所述振荡器电连接，以用于对接收到的信号进行处理得出蒸镀速率。该蒸镀速率测量装置相比现有技术中的装置，减少了装置的排线工作量以及信号处理器连接端口的占用量，并且能够提高生产效率以及降低工作人员的工作量。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 速率 测量 装置 设备 | ||
【主权项】：
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