[实用新型]一种离子注入机的质量分析器清理机构有效
| 申请号: | 202021118839.2 | 申请日: | 2020-06-19 |
| 公开(公告)号: | CN212209417U | 公开(公告)日: | 2020-12-22 |
| 发明(设计)人: | 王作义;马洪文;魏关成;高万智;杨虎;陈小铎 | 申请(专利权)人: | 广奕电子科技(宁波)有限公司 |
| 主分类号: | H01J37/32 | 分类号: | H01J37/32 |
| 代理公司: | 北京卫智畅科专利代理事务所(普通合伙) 11557 | 代理人: | 陈佳 |
| 地址: | 315336 浙江省宁波市杭州*** | 国省代码: | 浙江;33 |
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| 摘要: | 本实用新型公开了一种离子注入机的质量分析器清理机构,包括底座,所述底座的顶部固定连接有扇形均匀场磁铁本体,所述底座的右侧设置有动力机构,所述动力机构包括粘合在扇形均匀场磁铁本体底部的空心管,所述空心管的内腔转动连接有转动柱。本实用新型通过动力机构的驱动,在转动板和壳体的配合使用下,使得三角刮板和毛刷对扇形均匀场磁铁本体表面所吸附的杂质进行刮动,即可达到自动清理和清理效果好的目的,解决了在实际的使用过程中,由于扇形均匀场磁铁的磁性,其表面常会吸附有大量的灰尘杂质,若不对其表面的灰尘杂质进行及时清理,将会影响质量分析器的使用,继而影响离子注入机正常使用的问题。 | ||
| 搜索关键词: | 一种 离子 注入 质量 分析器 清理 机构 | ||
【主权项】:
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