[实用新型]一种离子注入机的质量分析器清理机构

说明书

本实用新型公开了一种离子注入机的质量分析器清理机构，包括底座，所述底座的顶部固定连接有扇形均匀场磁铁本体，所述底座的右侧设置有动力机构，所述动力机构包括粘合在扇形均匀场磁铁本体底部的空心管，所述空心管的内腔转动连接有转动柱。本实用新型通过动力机构的驱动，在转动板和壳体的配合使用下，使得三角刮板和毛刷对扇形均匀场磁铁本体表面所吸附的杂质进行刮动，即可达到自动清理和清理效果好的目的，解决了在实际的使用过程中，由于扇形均匀场磁铁的磁性，其表面常会吸附有大量的灰尘杂质，若不对其表面的灰尘杂质进行及时清理，将会影响质量分析器的使用，继而影响离子注入机正常使用的问题。

技术领域

本实用新型涉及离子注入机的质量分析器清理机构技术领域，具体为一种离子注入机的质量分析器清理机构。

背景技术

质量分析器是离子注入机的重要组成部分，它的主要作用，是将离子束中的离子按其质量数的不同进行分选，选择所需要的离子通过分析器光栏，到达靶室，以保证注入元素的纯度，因此质量分析器应具有良好的分辨能力，同时为保证光路的束传输效率，质量分析器还应具有良好的聚焦能力。

现有离子注入机所用的质量分析器，根据光路要求，质量分析器为双向聚焦结构，故此多采用扇形均匀场磁铁，在实际的使用过程中，由于扇形均匀场磁铁的磁性，其表面常会吸附有大量的灰尘杂质，若不对其表面的灰尘杂质进行及时清理，将会影响质量分析器的使用，继而影响离子注入机的正常使用，基于此，本实用新型提供了一种离子注入机的质量分析器清理机构，用以解决上述问题。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种离子注入机的质量分析器清理机构，具有自动清理和清理效果好的优点，解决了在实际的使用过程中，由于扇形均匀场磁铁的磁性，其表面常会吸附有大量的灰尘杂质，若不对其表面的灰尘杂质进行及时清理，将会影响质量分析器的使用，继而影响离子注入机正常使用的问题。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种离子注入机的质量分析器清理机构，包括底座，所述底座的顶部固定连接有扇形均匀场磁铁本体，所述底座的右侧设置有动力机构，所述动力机构包括粘合在扇形均匀场磁铁本体底部的空心管，所述空心管的内腔转动连接有转动柱，所述底座右侧的底部固定连接有电机底座，所述电机底座的顶部固定连接有正反电机，所述正反电机的输出轴贯穿至电机底座的左侧并与转动柱固定连接，所述扇形均匀场磁铁本体底部的后侧设置有清理机构，所述清理机构包括分别位于扇形均匀场磁铁本体两侧的两个转动板，所述转动板的前端固定连接于转动柱的表面，两个转动板相对的一侧均设置有毛刷，所述转动板的后端固定连接有壳体，所述壳体内腔的前侧贯穿设置有三角刮板，所述三角刮板的背表面焊接有弹簧，所述弹簧的后端与壳体的内壁相焊接。

优选的，所述转动板顶部的后侧固定连接有导向滑块，所述扇形均匀场磁铁本体的两侧均开设有供导向滑块滑动的弧形滑槽。

优选的，所述转动柱表面的两侧均套设有橡胶圈，所述橡胶圈位于转动板与扇形均匀场磁铁本体之间。

优选的，所述三角刮板的前侧粘合有橡胶条。

优选的，所述壳体内腔的前侧设置为斜面。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果如下：

1、本实用新型通过动力机构的驱动，在转动板和壳体的配合使用下，使得三角刮板和毛刷对扇形均匀场磁铁本体表面所吸附的杂质进行刮动，即可达到自动清理和清理效果好的目的，解决了在实际的使用过程中，由于扇形均匀场磁铁的磁性，其表面常会吸附有大量的灰尘杂质，若不对其表面的灰尘杂质进行及时清理，将会影响质量分析器的使用，继而影响离子注入机正常使用的问题。