[实用新型]喷淋式进气CVD动态混气装置

摘要

本实用新型涉及一种喷淋式进气CVD动态混气装置，在法兰的右侧壁上呈密封固定有混合罐，在法兰的左侧壁上呈密封固定有定子，在法兰上或者混合罐上固定有至少两个进气接头，在混合罐上固定有出气接头，在混合罐内转动安装有叶片轴，在叶片轴上固定有叶片；在定子内转动安装有主轴，主轴与叶片轴呈一体式同轴连接，在主轴内固定有强磁线圈，在主轴的外壁与定子的内壁之间设有密封用磁性粉末。本实用新型大大提高了二维材料生长用气体的混合效果，本实用新型还具有密封可靠、结构简单的优点。