[实用新型]一种电子束蒸发台用行星盘结构有效
| 申请号： | 202021011408.6 | 申请日： | 2020-06-04 |
| 公开（公告）号： | CN212270226U | 公开（公告）日： | 2021-01-01 |
| 发明（设计）人： | 马溢华 | 申请（专利权）人： | 无锡芯谱半导体科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/50 | 分类号： | C23C14/50;C23C14/30;C23C14/16 |
| 代理公司： | 北京中政联科专利代理事务所(普通合伙) 11489 | 代理人： | 韩璐 |
| 地址： | 214000 江苏省无锡市会*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型属涉及半导体设备技术领域，尤其涉及一种电子束蒸发台用行星盘结构，现提出如下方案，其包括；它包含支架、支撑臂、一号转轴、行星盘、转轮、二号转轴；所述的支架的上侧设有数个一号螺孔，支架的外壁上固定有数个支撑臂，支撑臂的下侧活动穿设有一号转轴；所述的一号转轴的前端穿过行星盘后，与限位螺母过盈设置，行星盘设于支撑臂的内侧，限位螺母设于行星盘的内侧；所述的行星盘上设有数个硅片通孔；所述的一号转轴的后端穿过转轮后，与限位轮过盈设置，转轮设于支撑臂的外侧；采用轨道滑轮悬挂结构，减小行星盘的震动，防滑防震，避免碎片，行星盘公转加自转使得硅片受热均匀，提高金属膜的均匀性，而且养护操作方便。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 电子束 蒸发 行星 盘结 | ||
【主权项】：
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