[实用新型]一种含超级结的3C-SiC外延结构有效
| 申请号: | 202020894666.7 | 申请日: | 2020-05-25 |
| 公开(公告)号: | CN211907437U | 公开(公告)日: | 2020-11-10 |
| 发明(设计)人: | 左万胜;钮应喜;乔庆楠;刘洋;张晓洪;刘锦锦;袁松;史田超;史文华;钟敏 | 申请(专利权)人: | 芜湖启迪半导体有限公司 |
| 主分类号: | H01L29/06 | 分类号: | H01L29/06;H01L21/04 |
| 代理公司: | 芜湖安汇知识产权代理有限公司 34107 | 代理人: | 尹婷婷 |
| 地址: | 241000 安徽省芜湖市弋江*** | 国省代码: | 安徽;34 |
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| 摘要: | 本实用新型公开了一种含超级结的3C‑SiC外延结构,所述含超级结的3C‑SiC外延结构由下之上依次包括衬底、含超级结结构的N型外延层、3C‑SiC外延层;本实用新型通过在3C‑SiC外延层之下插入了含超级结结构的N型外延层,补偿了3C‑SiC器件耐压低的劣势。 | ||
| 搜索关键词: | 一种 超级 sic 外延 结构 | ||
【主权项】:
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