[实用新型]一种半导体基片加工夹具有效
| 申请号： | 202020740560.1 | 申请日： | 2020-05-08 |
| 公开（公告）号： | CN212578939U | 公开（公告）日： | 2021-02-23 |
| 发明（设计）人： | 李俊霖 | 申请（专利权）人： | 四川科尔威光电科技有限公司 |
| 主分类号： | B28D7/04 | 分类号： | B28D7/04 |
| 代理公司： | 成都慕川专利代理事务所(普通合伙) 51278 | 代理人： | 杨艳 |
| 地址： | 610000 四川省成都市高新*** | 国省代码： | 四川;51 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本实用新型公开了一种半导体基片加工夹具，主要解决现有半导体基片加工中，在切割工序时，调整晶棒位置时需要反复松紧夹具，以及移位操作繁琐的问题。该夹具包括底座框架，分别设置于底座框架左右两侧的用于调节夹持半径的横向调节结构，与横向调节结构固定连接并与底座框架滑动连接的固定块，设置于固定块上夹持半环机构，设置于固定块上用于调节夹持半环机构高度的高度调节螺杆，设置于夹持半环机构上的充气胶垫，设置于固定块上用于向充气胶垫泵气的气泵，以及竖向设置于底座框架中部的传送装置通过上述设计，本实用新型在对同一晶棒多次切割时不需要人工手动调节夹持环，操作简单。因此，适于推广应用。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 半导体 加工 夹具 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于四川科尔威光电科技有限公司，未经四川科尔威光电科技有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/202020740560.1/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：一种建筑钢结构转运装置
- 下一篇：一种溜冰训练辅助装置
