[实用新型]一种插片机用硅片传送装置有效
申请号: | 202020519104.4 | 申请日: | 2020-04-10 |
公开(公告)号: | CN212113735U | 公开(公告)日: | 2020-12-08 |
发明(设计)人: | 靳立辉;尹擎;杨骅;杜晨鹏;耿明强;赵晓光 | 申请(专利权)人: | 天津环博科技有限责任公司 |
主分类号: | H01L31/18 | 分类号: | H01L31/18;H01L21/677 |
代理公司: | 天津企兴智财知识产权代理有限公司 12226 | 代理人: | 苏冲 |
地址: | 300384 天津市滨*** | 国省代码: | 天津;12 |
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摘要: | 本实用新型提供了一种插片机用硅片传送装置,包括传送组件、挂架、U型载料槽,所述挂架的顶部与所述传送组件相连,底部与所述U型载料槽固定连接,所述U型载料槽槽口朝上设置,所述挂架靠近所述U型载料槽的一端通过固定块固定有喷头,所述喷头通过水管与水泵连通。本实用新型所述的一种插片机用硅片传送装置解决了由于硅片在上料过程中向后方倾倒导致无法上料的问题。 | ||
搜索关键词: | 一种 插片机用 硅片 传送 装置 | ||
【主权项】:
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L31-00 对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射,或微粒辐射敏感的,并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的,或者专门适用于通过这样的辐射进行电能控制的半导体器件;专门适用于制造或处理这些半导体器件或其部件的方法或
H01L31-02 .零部件
H01L31-0248 .以其半导体本体为特征的
H01L31-04 .用作转换器件的
H01L31-08 .其中的辐射控制通过该器件的电流的,例如光敏电阻器
H01L31-12 .与如在一个共用衬底内或其上形成的,一个或多个电光源,如场致发光光源在结构上相连的,并与其电光源在电气上或光学上相耦合的
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L31-00 对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射,或微粒辐射敏感的,并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的,或者专门适用于通过这样的辐射进行电能控制的半导体器件;专门适用于制造或处理这些半导体器件或其部件的方法或
H01L31-02 .零部件
H01L31-0248 .以其半导体本体为特征的
H01L31-04 .用作转换器件的
H01L31-08 .其中的辐射控制通过该器件的电流的,例如光敏电阻器
H01L31-12 .与如在一个共用衬底内或其上形成的,一个或多个电光源,如场致发光光源在结构上相连的,并与其电光源在电气上或光学上相耦合的