[实用新型]MEMS麦克风有效
| 申请号： | 202020367978.2 | 申请日： | 2020-03-20 |
| 公开（公告）号： | CN211580197U | 公开（公告）日： | 2020-09-25 |
| 发明（设计）人： | 王青松 | 申请（专利权）人： | 瑶芯微电子科技（上海）有限公司 |
| 主分类号： | H04R19/00 | 分类号： | H04R19/00;H04R19/04;H04R31/00 |
| 代理公司： | 上海光华专利事务所(普通合伙) 31219 | 代理人： | 余明伟 |
| 地址： | 201207 上海市浦东新区中国*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本实用新型提供一种MEMS麦克风，MEMS麦克风的背板采用依次堆叠设置的背板绝缘层、背板导电层及背板机械层，使得背板绝缘层与振膜相向设置，从而可以避免振膜在过驱动时产生接通漏电现象，避免产品失效，提高产品的使用空间和良品率；采用PECVD法制备背板机械层，降低工艺时间，降低生产成本，降低污染颗粒，且由于PECVD的应力可调性，使得产品具有良好的设计兼容性和多样性，在大规模生产的过程中，也可采用APC系统对背板机械层的应力进行调整，以补偿传感空隙的厚度差异，提高生产的容错率及产品良率。 | ||
| 搜索关键词： | mems 麦克风 | ||
【主权项】：
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