[实用新型]一种两轴智能机械手有效
| 申请号： | 202020342995.0 | 申请日： | 2020-03-18 |
| 公开（公告）号： | CN211967575U | 公开（公告）日： | 2020-11-20 |
| 发明（设计）人： | 李素兰;马乘达;常文海 | 申请（专利权）人： | 山东奇润机械设备有限公司 |
| 主分类号： | B25J18/02 | 分类号： | B25J18/02;B25J15/06 |
| 代理公司： | 北京科家知识产权代理事务所(普通合伙) 11427 | 代理人： | 宫建华 |
| 地址： | 276000 山东省临*** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种两轴智能机械手，包括一旋转基座以及一横向伸缩机械臂，旋转基座底部转动连接有基于伺服控制的伺服旋转机构，横向伸缩机械臂位于旋转基座上端右侧，横向伸缩机械臂包括支撑臂和伸缩臂，所述伸缩臂包括至少三节伸缩杆结构，且每一节伸缩杆结构的上部设有可用于吸附晶元的真空吸附孔结构；支撑臂前端设有底部向前延伸的第一前托式结构，每一节伸缩杆结构的前端设有底部向前延伸的第二前托式结构，该两轴智能机械手通过组合式支撑结构，可使两轴机械手的横向传递机构更稳定，避免晶圆传递时的抖动。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 智能 机械手 | ||
【主权项】：
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