[实用新型]一种两轴智能机械手

说明书

本实用新型公开了一种两轴智能机械手，包括一旋转基座以及一横向伸缩机械臂，旋转基座底部转动连接有基于伺服控制的伺服旋转机构，横向伸缩机械臂位于旋转基座上端右侧，横向伸缩机械臂包括支撑臂和伸缩臂，所述伸缩臂包括至少三节伸缩杆结构，且每一节伸缩杆结构的上部设有可用于吸附晶元的真空吸附孔结构；支撑臂前端设有底部向前延伸的第一前托式结构，每一节伸缩杆结构的前端设有底部向前延伸的第二前托式结构，该两轴智能机械手通过组合式支撑结构，可使两轴机械手的横向传递机构更稳定，避免晶圆传递时的抖动。

技术领域

本实用新型涉及机械手领域，尤其涉及一种两轴智能机械手，属于无线远传智能水表设备技术领域。

背景技术

制造半导体晶体管或集成电路的衬底（也叫基片）的晶圆目前是通过机械手进行传送和完成安装连接的，在传送的过程中，主要是依靠两轴机械手进行横向传递，由于横向传递的距离较长，现有的两轴机械手在横向传递中，会出现晶圆产生轻微抖动的情况，导致晶圆连接装配不到位，严重影响晶圆装配环节的质量，现有设备改进中，有企业在两轴机械手的底部设置一个托架，以此起到撑托、减少横向抖动的作用，但实际应用中我们发现，单单设置一个呈三角结构的托架，还是不能完全解决抖动问题，因此，需要进一步改进设备。

实用新型内容

本实用新型就是针对上述问题，提出一种两轴智能机械手，该两轴智能机械手通过组合式支撑结构，可使两轴机械手的横向传递机构更稳定，避免晶圆传递时的抖动。

为达到上述技术目的，本实用新型采用了一种两轴智能机械手，包括一旋转基座以及一横向伸缩机械臂，所述旋转基座底部转动连接有基于伺服控制的伺服旋转机构，所述横向伸缩机械臂位于旋转基座上端右侧，所述横向伸缩机械臂包括支撑臂和伸缩臂，所述伸缩臂包括至少三节伸缩杆结构，且每一节伸缩杆结构的上部设有可用于吸附晶元的真空吸附孔结构；所述支撑臂前端设有底部向前延伸的第一前托式结构，所述每一节伸缩杆结构的前端设有底部向前延伸的第二前托式结构。

作为本实用新型之优选，所述第一前托式结构包括位于支撑臂前端的、由支撑臂的上端向支撑臂下端的前端逐渐延伸的第一倾斜口；所述第二前托式结构包括位于每一节伸缩杆结构前端的、由该伸缩杆结构的上端向伸缩杆结构下端的前端逐渐延伸的第二倾斜口。

作为本实用新型之进一步优选，所述第一倾斜口的倾斜度为30-45°，且所述第一倾斜口设有沿着第一倾斜口底部向前延伸的第一凸缘托片，所述第一凸缘托片和第一倾斜口呈一体式连接；所述第二倾斜口的倾斜度为30-45°，且所述第二倾斜口设有沿着第二倾斜口底部向前延伸的第二凸缘托片，所述第二凸缘托片和第二倾斜口呈一体式连接。

作为本实用新型之更进一步优选，所述伺服旋转机构包括一呈倒置等腰梯形的支撑座体，以及一呈等腰梯形的旋转座体，所述旋转座体底部和支撑座体上部之间通过伺服转动机构形成转动连接，所述旋转座体上端和旋转基座底部形成可拆式固定连接。

作为本实用新型之改进，所述旋转座体底面靠近外侧位置设有转动式滚珠，所述支撑座体上端面位于转动式滚珠底部位置，设有可使转动式滚珠沿着支撑座体上端面沿周向进行定位式转动的滚动槽。

作为本实用新型之进一步优选，所述旋转基座前端设有一斜面，该斜面和所述伸缩臂底部之间呈100-120°夹角。

作为本实用新型之进一步改进，所述旋转基座内设有一承压孔。

采用上述结构后，本实用新型具有如下优点：

1、本实用新型的横向伸缩臂采用倾斜口和凸缘托片结构，可较好地起到横向承托、提高稳定性的作用；

2、本实用新型的伺服旋转机构采用正反两个等腰梯形结构，不但可提高转动的稳定性，也进一步提升了整体结构的支撑性能；

3、本实用新型的旋转基座采用斜面结构和设置承压孔结构，不但可进一步提高承托能力，还能起到节省材料、降低成本的作用。