[实用新型]一种电容耦合等离子体原子层沉积反应腔体

摘要

本实用新型涉及原子层沉积反应设备技术领域，且公开了一种电容耦合等离子体原子层沉积反应腔体，包括腔体底座和腔体盖，所述腔体底座的内侧安装有环壁隔热层，所述腔体底座腔体端口内侧底部安装有水冷盖板，所述腔体底座的两侧对称安装有伸缩气弹簧，所述腔体底座的内侧壁安装有中央加热盘，腔体底座的底部安装有与中央加热盘相连通的法兰焊接头。该电容耦合等离子体原子层沉积反应腔体，通过电容耦合，激发反应气体活化，使反应气体具有更好的反应活性，从而提高原子层沉积过程中的反应效率，降低沉积温度，提高薄膜的沉积质量有效的增加了设备水平压力稳定性，外腔体筒的内侧台阶式设计，有效的降低放电离子撞击设备腔体内侧壁。