[实用新型]一种用于真空镀膜和刻蚀设备专用重型直线行走机构有效
| 申请号： | 202020191500.9 | 申请日： | 2020-02-21 |
| 公开（公告）号： | CN211848122U | 公开（公告）日： | 2020-11-03 |
| 发明（设计）人： | 李秀艳;刘洋 | 申请（专利权）人： | 大连威钛克纳米科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/50 | 分类号： | C23C14/50;C23F4/00 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 116600 辽宁省*** | 国省代码： | 辽宁;21 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种用于真空镀膜和刻蚀设备专用重型直线行走机构，包括行走架体，所述行走架体的底部设有固定块，所述固定块的一侧活动设有第一深沟球轴承，所述行走架体的中心处固定设有方管，所述行走架体的底部固定设有吊座，所述行走架体的顶部两侧均固定设有固定轴。本实用新型的第二深沟球轴承通过固定轴以及螺母固定在行走架体上，在垂直方向由于重力作用，机构悬挂固定于方管上，侧方向上两侧通过第二深沟球轴承将机构限定在方管上滑动，固定块与方管留有一定量的间隙，将整个机构限定在方管上其作用是限定整个机构的运动方向，以满足在高真空高温情况下电镀或者刻蚀的工艺要求。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 用于 真空镀膜 刻蚀 设备 专用 重型 直线 行走 机构 | ||
【主权项】：
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