[实用新型]一种用于真空镀膜和刻蚀设备专用重型直线行走机构

说明书

本实用新型公开了一种用于真空镀膜和刻蚀设备专用重型直线行走机构，包括行走架体，所述行走架体的底部设有固定块，所述固定块的一侧活动设有第一深沟球轴承，所述行走架体的中心处固定设有方管，所述行走架体的底部固定设有吊座，所述行走架体的顶部两侧均固定设有固定轴。本实用新型的第二深沟球轴承通过固定轴以及螺母固定在行走架体上，在垂直方向由于重力作用，机构悬挂固定于方管上，侧方向上两侧通过第二深沟球轴承将机构限定在方管上滑动，固定块与方管留有一定量的间隙，将整个机构限定在方管上其作用是限定整个机构的运动方向，以满足在高真空高温情况下电镀或者刻蚀的工艺要求。

技术领域

本实用新型涉及运动机构技术领域，具体涉及一种用于真空镀膜和刻蚀设备专用重型直线行走机构。

背景技术

关于大型钢板的表面清洗，由于工件尺寸比较大，工件表面复杂，普通的清洗需要经过多次化学反应，提供多个化学清洗槽，空间必须很大，并且需要很多个步骤，才能完成，化学刻蚀就会产生许多有害物质， 危害环境，危害人的身体健康，在现代工艺中，已经逐步被大型的真空镀膜和刻蚀设备所取代，真空镀膜和刻蚀设备的优点是对环境没有污染，而且相对化学清洗，占用的空间较小，操作流程相对简单；

由于镀膜和刻蚀的的范围是一定的，不能均布覆盖整个炉内，这就需要炉内的工件做往复的直线运动，让工件的每个表面都能够覆盖在镀膜和刻蚀的范围内，在高真空环境下，真空炉内普通的直线导轨机构由于间隙问题，润滑脂问题，不能耐热等问题，不能使用，在高真空炉中，由于工件比较大，需要经常炉外装卸，普通导轨不能经常拆卸；

间隙问题：在真空炉中，由于高真空，高温作用，热胀冷缩的原因，普通间隙的导轨不能使用；

润滑脂问题：在真空炉中，由于真空环境，要求无油无水普通的润滑脂不能在真空炉中使用，导轨滑块中的普通润滑不能使用；

不耐热问题：在真空炉中，由于导轨滑块的堵头，导向机构中都有塑料橡胶材质的部件，基本都不能耐高温，故不能在真空炉中使用。

发明内容

本实用新型的目的是提供一种用于真空镀膜和刻蚀设备专用重型直线行走机构，第二深沟球轴承通过固定轴以及螺母固定在行走架体上，在垂直方向由于重力作用，机构悬挂固定于方管上，侧方向上两侧通过第二深沟球轴承将机构限定在方管上滑动，固定块与方管留有一定量的间隙，将整个机构限定在方管上其作用是限定整个机构的运动方向，以满足在高真空高温情况下电镀或者刻蚀的工艺要求，以解决上述背景技术中的问题。

为了实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种用于真空镀膜和刻蚀设备专用重型直线行走机构，包括行走架体，所述行走架体的底部设有固定块，所述固定块的一侧活动设有第一深沟球轴承，所述行走架体的中心处固定设有方管，所述行走架体的底部固定设有吊座，所述行走架体的顶部两侧均固定设有固定轴，所述固定轴的一端设有第二深沟球轴承。

优选的，所述第一深沟球轴承的中心处设有轴杆，且所述第一深沟球轴承与固定块通过轴杆活动连接。

优选的，所述固定块的侧面设有圆头内六角螺钉，且所述固定块与行走架体通过圆头内六角螺钉连接。

优选的，所述吊座的顶部设有螺钉，且所述行走架体与吊座通过螺钉连接。

优选的，所述圆头内六角螺钉设置为四个，且四个所述圆头内六角螺钉关于固定块呈矩阵排列分布。

优选的，所述固定轴设置为两个，两个所述固定轴相远离的一端均设有螺母，且两个所述固定轴均与行走架体通过螺母连接。

优选的，所述吊座的底部两侧均设有六角螺栓，所述六角螺栓设置为两个，且两个所述六角螺栓均与吊座螺纹连接。

在上述技术方案中，本实用新型提供的技术效果和优点：