[实用新型]一种用于真空镀膜和刻蚀设备专用重型直线行走机构

权利要求书

1.一种用于真空镀膜和刻蚀设备专用重型直线行走机构，包括行走架体（1），其特征在于：所述行走架体（1）的底部设有固定块（2），所述固定块（2）的一侧活动设有第一深沟球轴承（3），所述行走架体（1）的中心处固定设有方管（10），所述行走架体（1）的底部固定设有吊座（6），所述行走架体（1）的顶部两侧均固定设有固定轴（7），所述固定轴（7）的一端设有第二深沟球轴承（8）。

2.根据权利要求1所述的一种用于真空镀膜和刻蚀设备专用重型直线行走机构，其特征在于：所述第一深沟球轴承（3）的中心处设有轴杆（12），且所述第一深沟球轴承（3）与固定块（2）通过轴杆（12）活动连接。

3.根据权利要求1所述的一种用于真空镀膜和刻蚀设备专用重型直线行走机构，其特征在于：所述固定块（2）的侧面设有圆头内六角螺钉（4），且所述固定块（2）与行走架体（1）通过圆头内六角螺钉（4）连接。

4.根据权利要求1所述的一种用于真空镀膜和刻蚀设备专用重型直线行走机构，其特征在于：所述吊座（6）的顶部设有螺钉（5），且所述行走架体（1）与吊座（6）通过螺钉（5）连接。

5.根据权利要求3所述的一种用于真空镀膜和刻蚀设备专用重型直线行走机构，其特征在于：所述圆头内六角螺钉（4）设置为四个，且四个所述圆头内六角螺钉（4）关于固定块（2）呈矩阵排列分布。

6.根据权利要求1所述的一种用于真空镀膜和刻蚀设备专用重型直线行走机构，其特征在于：所述固定轴（7）设置为两个，两个所述固定轴（7）相远离的一端均设有螺母（9），且两个所述固定轴（7）均与行走架体（1）通过螺母（9）连接。

7.根据权利要求1所述的一种用于真空镀膜和刻蚀设备专用重型直线行走机构，其特征在于：所述吊座（6）的底部两侧均设有六角螺栓（11），所述六角螺栓（11）设置为两个，且两个所述六角螺栓（11）均与吊座（6）螺纹连接。