[实用新型]一种脉冲磁场调控HiPIMS放电靶装置有效
| 申请号： | 202020153139.0 | 申请日： | 2020-02-05 |
| 公开（公告）号： | CN211497773U | 公开（公告）日： | 2020-09-15 |
| 发明（设计）人： | 许建平;陈晶;于久灏;王景旭 | 申请（专利权）人： | 黑龙江省海振科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/35 | 分类号： | C23C14/35 |
| 代理公司： | 哈尔滨龙科专利代理有限公司 23206 | 代理人： | 高媛 |
| 地址： | 150050 黑龙江*** | 国省代码： | 黑龙江;23 |
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| 摘要： | 一种脉冲磁场调控HiPIMS放电靶装置，属于真空镀膜技术领域。绝缘套筒可拆卸套装在水冷箱上，压紧套可拆卸套装在绝缘套筒上并将靶压紧贴附于水冷箱上面，连接板可拆卸设置在水冷箱下部，绝缘垫位于连接板与连接套筒之间且三者可拆卸连接，磁轭筒与连接套筒可拆卸连接，磁轭柱可拆卸设置在磁轭筒内，内线圈设置在磁轭柱与磁轭筒之间，外线圈套装在磁轭筒上，水冷箱上紧密套装有绝缘环和真空室，真空室侧壁和靶分别连接HiPIMS电源的阳极和阴极，内线圈与内线圈电源连接，外线圈与外线圈电源连接，匹配单元用于调控HiPIMS电源与外线圈电源和内线圈电源之间的脉冲相位，在电源单元作用下，在HiPIMS脉冲电压持续期间在靶表面获得磁力线。本实用新型用于真空镀膜中。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 脉冲 磁场 调控 hipims 放电 装置 | ||
【主权项】：
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