[实用新型]一种结势垒肖特基二极管结构有效
申请号: | 202020075832.0 | 申请日: | 2020-01-14 |
公开(公告)号: | CN211376647U | 公开(公告)日: | 2020-08-28 |
发明(设计)人: | 曹群;肖秀光;吴海平 | 申请(专利权)人: | 深圳比亚迪微电子有限公司 |
主分类号: | H01L29/872 | 分类号: | H01L29/872;H01L29/06 |
代理公司: | 北京润泽恒知识产权代理有限公司 11319 | 代理人: | 莎日娜 |
地址: | 518119 广东省*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | 本申请提供了一种结势垒肖特基二极管结构,包括:设置于阴极背面金属层上的N型碳化硅衬底层;位于所述N型碳化硅衬底层上的N型碳化硅外延层;内嵌在所述N型碳化硅外延层上表面的多个P型扩散区域;覆盖在所述N型碳化硅外延层上且避开所述P型扩散区域设置的N型硅区域;覆盖在所述N型硅区域和所述P型扩散区域上的金属阳极接触层。本申请在N型碳化硅外延层的上表面沉积了薄层的N型硅区域,N型硅区域与金属阳极接触层之间形成硅肖特基结构,可有效降低肖特基势垒,使得载流子越迁能量降低,进而使得JBS的正向开启电压VF大幅度降低,以此降低了系统的开通损耗。 | ||
搜索关键词: | 一种 结势垒肖特基 二极管 结构 | ||
【主权项】:
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