[实用新型]一种半导体制程车间排气系统

摘要

本实用新型公开了一种半导体制程车间排气系统，包括机台，所述机台通过排气管道和主排气管道连接，所述排气管道固定连接有过滤装置，所述过滤装置包括电机、过滤机构和清扫机构，所述电机的输出轴和过滤机构固定连接，所述过滤机构通过传动件和清扫机构啮合连接，所述过滤装置设有收集室。本实用新型结构简单，操作方便，设计科学合理，通过对机台和主排气管道之间的排气管道设置专用的过滤装置，有效避免机台工作过程中产生的粉尘遍布整个排气系统，降低工作人员对排气系统清理的难度，减少排气管道出现堵塞的情况，提高设备持续工作的能力，提高半导体制程的工作效率，增加经济效益。