[实用新型]一种用于叠瓦、半片大尺寸硅片扩散用石英舟

摘要

本实用新型提供一种用于叠瓦、半片大尺寸硅片电池扩散用石英舟，包括石英舟本体、支撑件、加强件和锁紧件，支撑件与石英舟本体可拆卸连接，且支撑件可相对于加强件移动，并通过锁紧件锁紧，支撑件设于石英舟本体底部，便于对硅片进行支撑；加强件与石英舟本体可拆卸连接，且加强件可相对于石英舟本体移动，并通过锁紧件锁紧，加强件与支撑件平行设置，便于对硅片插片时进行定位；支撑件与加强件上均设有卡齿，且支撑件上的卡齿与加强件上的卡齿一一对应；卡齿包括连接部和支撑部，连接部与支撑部连接。本实用新型的有益效果是适合硅片电池扩散时使用，对石英舟进行改进，同时对硅片进行切割，采用垂直方式进行插片，满足扩散炉生产需求。