[发明专利]激光退火设备的光束检测装置及方法有效
| 申请号： | 202011643342.7 | 申请日： | 2020-12-30 |
| 公开（公告）号： | CN112834027B | 公开（公告）日： | 2023-08-11 |
| 发明（设计）人： | 王瑜;侯煜;岳嵩;王然;张紫辰 | 申请（专利权）人： | 中国科学院微电子研究所 |
| 主分类号： | G01J1/00 | 分类号： | G01J1/00;G01J1/04;G01B21/08;G01B21/20;C30B33/02 |
| 代理公司： | 北京兰亭信通知识产权代理有限公司 11667 | 代理人： | 陈晓瑜 |
| 地址： | 100029 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明提供一种激光退火设备的光束检测装置，包括：激光发生器，用于产生能沿退火加工路径进行移动的激光束；光斑形貌检测仪，设置在所述激光束的光路上，所述激光束照射在所述光斑形貌检测仪上形成光斑，以使所述光斑形貌检测仪对所述光斑进行检测；三维运动平台，设置在工件台下方，所述三维运动平台与所述光斑形貌检测仪连接；所述三维运动平台能带动所述光斑形貌检测仪上升至晶圆加工时所处的第一平面，并带动所述光斑形貌检测仪在所述第一平面内沿所述退火加工路径与所述激光束同步运动。本发明能够准确的测量激光退火加工过程，从而准确的获得光斑参数。 | ||
| 搜索关键词： | 激光 退火 设备 光束 检测 装置 方法 | ||
【主权项】：
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