[发明专利]激光退火设备的光束检测装置及方法

说明书

本发明提供一种激光退火设备的光束检测装置，包括：激光发生器，用于产生能沿退火加工路径进行移动的激光束；光斑形貌检测仪，设置在所述激光束的光路上，所述激光束照射在所述光斑形貌检测仪上形成光斑，以使所述光斑形貌检测仪对所述光斑进行检测；三维运动平台，设置在工件台下方，所述三维运动平台与所述光斑形貌检测仪连接；所述三维运动平台能带动所述光斑形貌检测仪上升至晶圆加工时所处的第一平面，并带动所述光斑形貌检测仪在所述第一平面内沿所述退火加工路径与所述激光束同步运动。本发明能够准确的测量激光退火加工过程，从而准确的获得光斑参数。

技术领域

本发明涉及激光退火技术领域，尤其涉及一种激光退火设备的光束检测装置及方法。

背景技术

激光退火设备对样品进行加工时，需要实时得到入射到晶圆加工面上聚焦光斑的各项参数，如光斑大小、能量分布等，从而控制整形透镜进行相应参数调整，这样才可以保证聚焦光斑大小不变，同时保证光斑的质量。现有的光斑检测装置，一般只能通过反射进行单点测量，测量误差较大，无法准确检测实际退火过程中晶圆各个点位激光光斑的各项参数。

发明内容

本发明提供的激光退火设备的光束检测装置及方法，能够准确的测量激光退火加工过程，从而准确的获得光斑参数。

第一方面，本发明提供一种激光退火设备的光束检测装置，包括：

激光发生器，用于产生能沿退火加工路径进行移动的激光束；

光斑形貌检测仪，设置在所述激光束的光路上，所述激光束照射在所述光斑形貌检测仪上形成光斑，以使所述光斑形貌检测仪对所述光斑进行检测；

三维运动平台，设置在工件台下方，所述三维运动平台与所述光斑形貌检测仪连接；所述三维运动平台能带动所述光斑形貌检测仪上升至晶圆加工时所处的第一平面，并带动所述光斑形貌检测仪在所述第一平面内沿所述退火加工路径与所述激光束同步运动。

可选地，所述三维运动平台包括：

两个竖直轨道，均与激光退火设备的加工腔的侧壁固定连接；

第一水平轨道，与两个所述竖直运动轨道滑动连接；

第二水平轨道，与所述第一水平运动轨道滑动连接，所述第二水平轨道与所述第一水平轨道垂直设置；

承载平台，与所述第二水平轨道滑动连接，所述承载平台用于安装所述光斑形貌检测仪。

可选地，还包括上位机，所述上位机与所述光斑形貌检测仪通讯连接，所述上位机用于依据所述光斑形貌检测仪检测的光斑参数控制可控整形镜片对光束进行整形。

可选地，所述可控整形镜片包括可控微透镜阵列。

可选地，还包括晶圆厚度测量模块，所述晶圆厚度测量模块与所述三维运动平台通讯连接，所述三维运动平台依据所述厚度测量模块测量得到的晶圆厚度，驱动所述光斑形貌检测仪在竖直方向上运动。

第二方面，本发明还提供一种激光退火设备的光束检测方法，采用如上述任意一项所述的激光退火设备的光束检测装置进行检测，包括：

控制光斑形貌检测仪上升至晶圆加工时所处的平面内；

控制振镜系统驱动对激光光束进行反射，以使激光光斑沿退火加工时的加工路径移动；

控制光斑形貌检测仪与所述光斑同步沿退火加工时的加工路径移动，以使所述光斑照射在所述光斑形貌检测仪上，实时获取所述光斑的参数。

可选地，实时获取所述光斑的参数之后还包括：

将所述光斑的参数发送至上位机；

上位机依据所述光斑的参数，确定对可控整形镜片的补偿参数；