[发明专利]激光退火设备的光束检测装置及方法

权利要求书

1.一种激光退火设备的光束检测装置，其特征在于，包括：

激光发生器，用于产生能沿退火加工路径进行移动的激光束；

光斑形貌检测仪，设置在所述激光束的光路上，所述激光束照射在所述光斑形貌检测仪上形成光斑，以使所述光斑形貌检测仪对所述光斑进行检测；

三维运动平台，设置在工件台下方，所述三维运动平台与所述光斑形貌检测仪连接；所述三维运动平台能带动所述光斑形貌检测仪上升至晶圆加工时所处的第一平面，并带动所述光斑形貌检测仪在所述第一平面内沿所述退火加工路径与所述激光束同步运动。

2.根据权利要求1所述激光退火设备的光束检测装置，其特征在于，所述三维运动平台包括：

两个竖直轨道，均与激光退火设备的加工腔的侧壁固定连接；

第一水平轨道，与两个所述竖直轨道滑动连接；

第二水平轨道，与所述第一水平轨道滑动连接，所述第二水平轨道与所述第一水平轨道垂直设置；

承载平台，与所述第二水平轨道滑动连接，所述承载平台用于安装所述光斑形貌检测仪。

3.根据权利要求1所述激光退火设备的光束检测装置，其特征在于，还包括上位机，所述上位机与所述光斑形貌检测仪通讯连接，所述上位机用于依据所述光斑形貌检测仪检测的光斑参数控制可控整形镜片对光束进行整形。

4.根据权利要求3所述激光退火设备的光束检测装置，其特征在于，所述可控整形镜片包括可控微透镜阵列。

5.根据权利要求1所述激光退火设备的光束检测装置，其特征在于，还包括晶圆厚度测量模块，所述晶圆厚度测量模块与所述三维运动平台通讯连接，所述三维运动平台依据所述厚度测量模块测量得到的晶圆厚度，驱动所述光斑形貌检测仪在竖直方向上运动。

6.一种激光退火设备的光束检测方法，其特征在于，采用如权利要求1-5任意一项所述的激光退火设备的光束检测装置进行检测，包括：

控制光斑形貌检测仪上升至晶圆加工时所处的平面内；

控制振镜系统驱动对激光光束进行反射，以使激光光斑沿退火加工时的加工路径移动；

控制光斑形貌检测仪与所述光斑同步沿退火加工时的加工路径移动，以使所述光斑照射在所述光斑形貌检测仪上，实时获取所述光斑的参数；

依据所述光斑的参数，控制可控整形镜片对所述光斑进行整形。

7.根据权利要求6所述激光退火设备的光束检测方法，其特征在于，实时获取所述光斑的参数之后还包括：

将所述光斑的参数发送至上位机；

上位机依据所述光斑的参数，确定对可控整形镜片的补偿参数；

依据所述补偿参数，对所述可控整形镜片进行补偿控制。

8.根据权利要求7所述激光退火设备的光束检测方法，其特征在于，所述可控整形镜片包括可控微透镜阵列；

上位机依据所述光斑的参数，确定对可控整形镜片的补偿参数包括：依据所述补偿参数，对可控微透镜整列的对应位置进行补偿控制。

9.根据权利要求6所述激光退火设备的光束检测方法，其特征在于，控制光斑形貌检测仪上升至晶圆加工时所处的平面内之前包括：

对晶圆的厚度进行测量；

依据工件台的高度以及晶圆的厚度，确定晶圆加工时所处的平面。

10.根据权利要求6所述激光退火设备的光束检测方法，其特征在于，所述光斑的参数包括：光斑的位置参数以及与所述光斑的位置参数对应光斑大小和光斑质量。