[发明专利]一种衰减器加工方法在审

专利信息
申请号: 202011638107.0 申请日: 2020-12-31
公开(公告)号: CN112853311A 公开(公告)日: 2021-05-28
发明(设计)人: 张志强;耿复;高志强;马天军;张欣玲;王书峰;褚立人 申请(专利权)人: 山东微波电真空技术有限公司
主分类号: C23C16/26 分类号: C23C16/26;C23C16/46;C23C16/04;C23C16/44
代理公司: 济南千慧专利事务所(普通合伙企业) 37232 代理人: 左建华
地址: 250000 山东省济南市历城区王*** 国省代码: 山东;37
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摘要: 发明涉及行波管领域,特别涉及一种衰减器加工方法,提供具有真空腔的模具;确定所述夹持杆的衰减器设置区域,将夹持杆置于所述模具;对所述真空腔抽负压,所述真空腔的压力大于或等于5×10‑5Pa;向所述真空腔通入C7H16;所述模具加热至N℃,750≤N≤850;冷却所述夹持杆。本发明的加工方法,可以使得夹持杆一体的形成衰减器,易于对衰减器进行组装和加工。而且,衰减器设置区域处吸附的碳层均匀,具有较好的衰减效果,有效的解决了现有技术中存在的问题。
搜索关键词: 一种 衰减器 加工 方法
【主权项】:
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