[发明专利]硅衬底GaN基LED及其制备方法在审
申请号: | 202011635543.2 | 申请日: | 2020-12-31 |
公开(公告)号: | CN112736171A | 公开(公告)日: | 2021-04-30 |
发明(设计)人: | 周名兵 | 申请(专利权)人: | 晶能光电(江西)有限公司 |
主分类号: | H01L33/12 | 分类号: | H01L33/12;H01L33/06;H01L33/32;H01L33/02;H01L33/00 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 330096 江西省*** | 国省代码: | 江西;36 |
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摘要: |
本发明提供了一种硅衬底GaN基LED及其制备方法,其中,硅衬底GaN基LED从下至上依次包括:硅衬底、多层位错过滤缓冲层、UGaN层、NGaN电流扩展层、有源区应力释放层、多量子阱发光层、电子阻挡层、P型GaN电流扩展层及P型欧姆接触层,其中,多层位错过滤缓冲层中包括一AlN层和多层不同Al组分的Al |
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搜索关键词: | 衬底 gan led 及其 制备 方法 | ||
【主权项】:
暂无信息
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