[发明专利]硅衬底GaN基LED及其制备方法在审

专利信息
申请号: 202011635543.2 申请日: 2020-12-31
公开(公告)号: CN112736171A 公开(公告)日: 2021-04-30
发明(设计)人: 周名兵 申请(专利权)人: 晶能光电(江西)有限公司
主分类号: H01L33/12 分类号: H01L33/12;H01L33/06;H01L33/32;H01L33/02;H01L33/00
代理公司: 暂无信息 代理人: 暂无信息
地址: 330096 江西省*** 国省代码: 江西;36
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摘要: 发明提供了一种硅衬底GaN基LED及其制备方法,其中,硅衬底GaN基LED从下至上依次包括:硅衬底、多层位错过滤缓冲层、UGaN层、NGaN电流扩展层、有源区应力释放层、多量子阱发光层、电子阻挡层、P型GaN电流扩展层及P型欧姆接触层,其中,多层位错过滤缓冲层中包括一AlN层和多层不同Al组分的AlxGa1‑xN层,其中,0≤x≤1,或多层位错过滤缓冲层中包括一AlN层和AlxGa1‑xN/AlyGa1‑yN超晶格结构,其中,0≤x≤1,0≤y≤1。该GaN基LED具有低位错密度(小于2E8/cm2)、高质量的有源区生长质量,且低点缺陷密度,尤其适用于大尺寸(6/8英寸)硅外延生长GaN基蓝(绿)光LED外延生长,可应用于微显示领域,在新型显示领域具有良好的应用前景。
搜索关键词: 衬底 gan led 及其 制备 方法
【主权项】:
暂无信息
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