[发明专利]一种碳化硅切割液分离方法有效
| 申请号： | 202011628535.5 | 申请日： | 2020-12-31 |
| 公开（公告）号： | CN112755639B | 公开（公告）日： | 2022-08-09 |
| 发明（设计）人： | 汪良;张洁;王旻峰 | 申请（专利权）人： | 湖南三安半导体有限责任公司 |
| 主分类号： | B01D36/00 | 分类号： | B01D36/00;C01B32/956;C01B32/28 |
| 代理公司： | 北京超凡宏宇专利代理事务所(特殊普通合伙) 11463 | 代理人： | 冯洁 |
| 地址： | 410000 湖南省长沙市高新开发*** | 国省代码： | 湖南;43 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种碳化硅切割液分离方法，涉及碳化硅切割液处理技术领域。碳化硅切割液分离方法包括：混合碳化硅切割液和第一溶液得到第一混合溶液。第一溶液的密度大于切割油的密度且小于碳化硅的密度。静置第一混合溶液，以使第一混合溶液分层形成切割油分层和混合分层。分离切割油分层和混合分层以分离切割油。混合混合分层和第二溶液得到第二混合溶液。第二溶液的密度大于碳化硅的密度且小于金刚石的密度。静置第二混合溶液，以使第二混合溶液分层形成碳化硅分层和金刚石分层。分离碳化硅分层和金刚石分层，以分离碳化硅和金刚石。本发明提供的碳化硅切割液分离方法可以有效分离切割油、碳化硅和金刚石，降低切割碳化硅的成本。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 碳化硅 切割 分离 方法 | ||
【主权项】：
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