[发明专利]一种金属掩膜版框架表面毛刺去除设备有效

专利信息
申请号: 202011612103.5 申请日: 2020-12-30
公开(公告)号: CN112828707B 公开(公告)日: 2023-02-07
发明(设计)人: 钱超;杨波;洪明;王有明 申请(专利权)人: 江苏高光半导体材料有限公司
主分类号: B24B9/04 分类号: B24B9/04;B24B55/06;B24B47/04;B24B41/06;B24B41/02
代理公司: 安徽华晟智恒知识产权代理事务所(普通合伙) 34193 代理人: 王媛媛
地址: 212400 江苏省镇*** 国省代码: 江苏;32
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摘要: 发明属于工业加工技术领域,尤其是一种金属掩膜版框架表面毛刺去除设备,包括底板,所述底板的顶部外壁通过螺栓固定有撑环板,其特征在于,所述撑环板的顶端设置有从动转筒,且从动转筒的中端圆周外壁焊接有边环板,所述边环板与撑环板的相对一侧均开有环形槽,且对应两个环形槽的内壁滚动连接有等距离分布的滚珠,所述撑环板的顶端外壁通过螺栓固定有台板。本发明通过设置的驱动电机,能够利用驱动齿轮、内齿环的传动作用带动从动转筒、台板转动,从而有效改变打磨位置;通过设置的伺服电机能够带动螺纹丝杆转动,从而在限位滑块的作用下,带动移动端块移动,从而实现对打磨器的位置调节,方便对工件的全方位的打磨处理。
搜索关键词: 一种 金属 掩膜版 框架 表面 毛刺 去除 设备
【主权项】:
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