[发明专利]一种金属掩膜版框架表面毛刺去除设备有效
申请号: | 202011612103.5 | 申请日: | 2020-12-30 |
公开(公告)号: | CN112828707B | 公开(公告)日: | 2023-02-07 |
发明(设计)人: | 钱超;杨波;洪明;王有明 | 申请(专利权)人: | 江苏高光半导体材料有限公司 |
主分类号: | B24B9/04 | 分类号: | B24B9/04;B24B55/06;B24B47/04;B24B41/06;B24B41/02 |
代理公司: | 安徽华晟智恒知识产权代理事务所(普通合伙) 34193 | 代理人: | 王媛媛 |
地址: | 212400 江苏省镇*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 本发明属于工业加工技术领域,尤其是一种金属掩膜版框架表面毛刺去除设备,包括底板,所述底板的顶部外壁通过螺栓固定有撑环板,其特征在于,所述撑环板的顶端设置有从动转筒,且从动转筒的中端圆周外壁焊接有边环板,所述边环板与撑环板的相对一侧均开有环形槽,且对应两个环形槽的内壁滚动连接有等距离分布的滚珠,所述撑环板的顶端外壁通过螺栓固定有台板。本发明通过设置的驱动电机,能够利用驱动齿轮、内齿环的传动作用带动从动转筒、台板转动,从而有效改变打磨位置;通过设置的伺服电机能够带动螺纹丝杆转动,从而在限位滑块的作用下,带动移动端块移动,从而实现对打磨器的位置调节,方便对工件的全方位的打磨处理。 | ||
搜索关键词: | 一种 金属 掩膜版 框架 表面 毛刺 去除 设备 | ||
【主权项】:
暂无信息
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