[发明专利]一种金属掩膜版框架表面毛刺去除设备有效

专利信息
申请号: 202011612103.5 申请日: 2020-12-30
公开(公告)号: CN112828707B 公开(公告)日: 2023-02-07
发明(设计)人: 钱超;杨波;洪明;王有明 申请(专利权)人: 江苏高光半导体材料有限公司
主分类号: B24B9/04 分类号: B24B9/04;B24B55/06;B24B47/04;B24B41/06;B24B41/02
代理公司: 安徽华晟智恒知识产权代理事务所(普通合伙) 34193 代理人: 王媛媛
地址: 212400 江苏省镇*** 国省代码: 江苏;32
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摘要:
搜索关键词: 一种 金属 掩膜版 框架 表面 毛刺 去除 设备
【权利要求书】:

1.一种金属掩膜版框架表面毛刺去除设备,包括底板(1),所述底板(1)的顶部外壁通过螺栓固定有撑环板(21),其特征在于,所述撑环板(21)的顶端设置有从动转筒(22),且从动转筒(22)的中端圆周外壁焊接有边环板(20),所述边环板(20)与撑环板(21)的相对一侧均开有环形槽(6),且对应两个环形槽(6)的内壁滚动连接有等距离分布的滚珠(5),所述撑环板(21)的顶端外壁通过螺栓固定有台板(23),且台板(23)的底部外壁开有安装槽,所述安装槽的内壁通过螺栓固定有电磁铁(24);所述底板(1)的顶部外壁靠近从动转筒(22)的一端通过螺栓固定有驱动电机(3),且驱动电机(3)的输出轴键连接有驱动齿轮(4),所述从动转筒(22)靠近底端的圆周内壁固定安装有与从动转筒(22)相啮合的驱动齿轮(4)的内齿环(25);

所述底板(1)的顶部外壁通过螺栓固定有安装端框,且安装端框靠近顶部的一端通过轴承转动连接有螺纹丝杆(16),所述螺纹丝杆(16)的一端通过螺纹连接有移动端块(12),所述移动端块(12)的底部外壁通过螺栓固定有电动伸缩杆(14),且电动伸缩杆(14)的延伸杆端部通过螺栓固定有安装圆板(26),所述安装圆板(26)的底部外壁通过螺栓固定有打磨器(2);所述移动端块(12)与安装圆板(26)的相对一侧通过铰链连接有等距离环形分布的限位铰杆(15),且限位铰杆均有两个相互铰接的端杆组成;

所述台板(23)的一侧安装有清洁机构,所述清洁机构包括开设于台板(23)顶端的平槽口(2301),且平槽口(2301)的两侧形成挡边;所述台板(23)的一侧通过螺栓固定有小型气泵(8),且小型气泵(8)的输出端固定连接有输风母管(10),所述输风母管(10)的一侧固定连接有等距离分布的斜支管(11);所述平槽口(2301)远离小型气泵(8)的一端两侧均设置有弧托边(2302);所述从动转筒(22)靠近弧托边(2302)的一侧外壁通过螺栓固定有固定端盒(19),且固定端盒(19)的内部滑动连接有收集抽盒(18)。

2.根据权利要求1所述的一种金属掩膜版框架表面毛刺去除设备,其特征在于,所述安装端框的底部外壁开有限位顶滑槽(17),且移动端块(12)的顶部外壁焊接有与限位顶滑槽(17)滑动连接的限位滑块(13)。

3.根据权利要求1所述的一种金属掩膜版框架表面毛刺去除设备,其特征在于,所述螺纹丝杆(16)的一端通过联轴器连接有伺服电机(9),且安装端框与底板(1)的一端相对一侧通过螺栓固定有加强斜杆(7)。

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