[发明专利]整平剂、电镀液及其应用有效

专利信息
申请号: 202011602731.5 申请日: 2020-12-29
公开(公告)号: CN112795962B 公开(公告)日: 2022-08-05
发明(设计)人: 邹浩斌;高健;席道林;万会勇;肖定军;刘彬云;谭超力;杨彦章 申请(专利权)人: 广东东硕科技有限公司;光华科学技术研究院(广东)有限公司
主分类号: C08G65/00 分类号: C08G65/00
代理公司: 华进联合专利商标代理有限公司 44224 代理人: 刘阳
地址: 510280 广东省广州市白云区北太路1633*** 国省代码: 广东;44
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摘要: 发明涉及整平剂、电镀液及其应用,其中,整平剂包括功效成分,功效成分为含醚键的伯胺化合物、仲胺化合物和二环氧化合物的反应产物。该整平剂被用于电铜镀液中时,在常规的电流密度范围内,既能确保盲孔填镀满足常规要求,也能使面铜厚度控制在较小的范围内。不仅能够提高生产效率,还可以降低工艺成本,并且与精细线路的制作具有优异的兼容性,降低后续制作精细线路的蚀刻难度。
搜索关键词: 整平剂 电镀 及其 应用
【主权项】:
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