[发明专利]自密封式真空检测系统及抽真空检漏方法有效
| 申请号： | 202011602181.7 | 申请日： | 2020-12-30 |
| 公开（公告）号： | CN112629782B | 公开（公告）日： | 2022-09-06 |
| 发明（设计）人： | 叶朗;徐旭;裴国庆;独伟锋;张亮;全旭松 | 申请（专利权）人： | 中国工程物理研究院激光聚变研究中心 |
| 主分类号： | G01M3/34 | 分类号： | G01M3/34 |
| 代理公司： | 重庆为信知识产权代理事务所(普通合伙) 50216 | 代理人： | 张文军 |
| 地址： | 621900 四*** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种自密封式真空检测系统及抽真空检漏方法，系统包括箱体和罩盖，罩盖底部设置有可上下移动的压板，罩盖顶部固定安装有密封环，罩盖上设有避让孔，该避让孔内设有柔性变形部件，柔性变形部件下端连接在压板上，上端与密封环连接。方法包括步骤一：将待检模块装至箱体的敞口处；步骤二：盖上罩盖，使压板周向边缘与待检模块接触；步骤三：利用真空泵对箱体和罩盖抽真空，在压差的作用下柔性变形部件伸长并带动压板向下挤压待检模块，使待模块与箱体之间密封；步骤四：向罩盖内充入氦气至预设值；步骤五：利用检漏仪测量是否有氦气渗透至箱体内。有益效果是：待检模块能够在真空密封腔内快速自动密封，并完成密封性能检测。 | ||
| 搜索关键词： | 密封 真空 检测 系统 检漏 方法 | ||
【主权项】：
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