[发明专利]自密封式真空检测系统及抽真空检漏方法

说明书

本发明公开了一种自密封式真空检测系统及抽真空检漏方法，系统包括箱体和罩盖，罩盖底部设置有可上下移动的压板，罩盖顶部固定安装有密封环，罩盖上设有避让孔，该避让孔内设有柔性变形部件，柔性变形部件下端连接在压板上，上端与密封环连接。方法包括步骤一：将待检模块装至箱体的敞口处；步骤二：盖上罩盖，使压板周向边缘与待检模块接触；步骤三：利用真空泵对箱体和罩盖抽真空，在压差的作用下柔性变形部件伸长并带动压板向下挤压待检模块，使待模块与箱体之间密封；步骤四：向罩盖内充入氦气至预设值；步骤五：利用检漏仪测量是否有氦气渗透至箱体内。有益效果是：待检模块能够在真空密封腔内快速自动密封，并完成密封性能检测。

技术领域

本发明属于真空密封部件密封性能检测技术领域，具体涉及一种自密封式真空检测系统及抽真空检漏方法。

背景技术

在光学领域中，很多物理装置会在真空环境中使用，在真空环境中安装这些物理装置，往往需要对一些部件进行密封装配。对于这些部件的密封安装，传统的技术手段需要人工干预，即采用螺钉连接的方式对需密封的部件施加预紧力，此种方式具有效率低、易产尘、操作空间受限的缺点，同时还存在螺钉预紧力不均而导致部件崩裂的风险。比如：激光装置中的光机模块，光机模块在线安装前，需要将其与离线真空检漏平台连接密封，然后进行真空密封性能检测，由于光机模块中的光学元件较薄，易碎，表面洁净度要求高，其与真空检漏平台连接密封效率和成功率要求高，所以再利用传统的螺钉连接方式进行密封则不能满足使用要求，为此，急需寻求一种方便快捷的密封方式。

发明内容

有鉴于此，本发明提供一种自密封式真空检测系统，待检测的模块能够在真空密封腔内快速自动密封。

为实现上述目的，本发明技术方案如下：

一种自密封式真空检测系统，其关键在于：包括上端敞口的箱体，所述箱体的敞口端以可拆卸地方式安装有罩盖，所述罩盖底部设置有可上下移动的压板，罩盖顶部固定安装有密封环，所述罩盖上设有避让孔，该避让孔内设有柔性变形部件，柔性变形部件下端连接在压板上，上端与密封环连接；

所述罩盖扣合在箱体上后，能够通过改变罩盖内部与外部之间的压差使柔性变形部件变形，以控制压板向上或者向下移动。

采用上述结构，在系统使用时，先将待检测的模块放置在箱体的敞口端上，然后再将罩盖罩扣在箱体上，此时箱体内部形成下密封腔，罩盖内部形成上密封腔，然后再对上密封腔和下密封腔同时抽真空，使内部压强小于外界大气压，由于压差的作用，此时柔性变形部件向下扩张并带动压板向下移动，使得压板将待检测的模块压紧，保证待检模块与下密封腔之间的密封，这样便避免了利用螺钉来紧固待检模块。待检模块利用压差固定在箱体敞口端后，再向上密封腔充入氦气即可实现待检模块的真空密封性能检测。

作为优选：所述柔性变形部件为波纹管。采用上述结构，在罩盖内的压强小于大气压时，波纹管能够沿纵向伸缩，从而带动压板整体对待检模块四周施加压力。

作为优选：所述罩盖的内侧分布有向下延伸的导向销，所述压板滑动连接在导向销上。采用上述结构，以便于将压板滑动装配在罩盖的内部。

作为优选：所述罩盖的周向边缘具有向下延伸的侧挡板，所述箱体对应侧挡板下端的位置设有密封圈。采用上述结构，罩盖罩扣在箱体上后，能保证罩盖内部形成上密封腔。

作为优选：所述压板的周向边缘分布有向下延伸的压紧块。采用上述结构，压板向下移动时能够在待检模块的边缘对其压紧，以避免待检模块中间的元件受压。

作为优选：所述箱体在其上端敞口位置的周向外侧设置有限位块。采用上述结构，以便于定位安装待检模块。

作为优选：所述箱体和罩盖上均设有气管连接接头。采用上述结构，以便于在进行密封性能检测时，对箱体和罩盖内抽真空和充入氦气。

作为优选：所述导向销的下端连接有螺母。采用上述结构，以便于安装压板。