[发明专利]自密封式真空检测系统及抽真空检漏方法

权利要求书

1.一种自密封式真空检测系统，其特征在于：包括上端敞口的箱体（1），所述箱体（1）的敞口端以可拆卸地方式安装有罩盖（2），所述罩盖（2）底部设置有可上下移动的压板（3），罩盖（2）顶部固定安装有密封环（4），所述罩盖（2）上设有避让孔（2a），该避让孔（2a）内设有柔性变形部件（5），柔性变形部件（5）下端连接在压板（3）上，上端与密封环（4）连接；

所述罩盖（2）扣合在箱体（1）上后，能够通过改变罩盖（2）内部与外部之间的压差使柔性变形部件（5）变形，以控制压板（3）向上或者向下移动；所述柔性变形部件（5）为波纹管；

所述罩盖（2）和箱体（1）均通过气管连接有真空泵（f），所述气管上布置有真空计（d）；与罩盖（2）相连的气管上设有氦气袋（a），与箱体（1）相连的气管上设有检漏仪（g）；

所述罩盖（2）的周向边缘具有向下延伸的侧挡板（2c），所述箱体（1）对应侧挡板（2c）下端的位置设有密封圈（6）；所述压板（3）的周向边缘分布有向下延伸的压紧块（3a）；所述箱体（1）在其上端敞口位置的周向外侧设置有限位块（1a）。

2.根据权利要求1所述的自密封式真空检测系统，其特征在于：所述罩盖（2）的内侧分布有向下延伸的导向销（2b），所述压板（3）滑动连接在导向销（2b）上。

3.根据权利要求1所述的自密封式真空检测系统，其特征在于：所述箱体（1）和罩盖（2）上均设有气管连接接头。

4.根据权利要求2所述的自密封式真空检测系统，其特征在于：所述导向销（2b）的下端连接有螺母（2d）。

5.一种抽真空检漏方法，利用权利要求1至4中任一项所述的自密封式真空检测系统进行待检模块的真空漏检，其特征在于，包括以下步骤：

步骤一：将待检模块装至箱体（1）的敞口处；

步骤二：盖上罩盖（2），使压板（3）周向边缘与待检模块接触；

步骤三：利用真空泵（f）对箱体（1）和罩盖（2）抽真空，在压差的作用下柔性变形部件（5）伸长并带动压板（3）向下挤压待检模块，使待模块与箱体（1）之间密封；

步骤四：向罩盖（2）内充入氦气至预设值；

步骤五：利用检漏仪（g）测量是否有氦气渗透至箱体（1）内。

6.根据权利要求5所述的抽真空检漏方法，其特征在于：利用真空计（d）监测步骤四中的预设值。