[发明专利]一种BH激光器MESA台面的制备方法有效
| 申请号： | 202011591704.2 | 申请日： | 2020-12-29 |
| 公开（公告）号： | CN112701563B | 公开（公告）日： | 2022-08-05 |
| 发明（设计）人： | 张鹏;张永;单智发;陈阳华 | 申请（专利权）人： | 全磊光电股份有限公司 |
| 主分类号： | H01S5/183 | 分类号： | H01S5/183;H01S5/227;C23C16/50;C23C16/455;C23C16/40 |
| 代理公司： | 苏州翔远专利代理事务所(普通合伙) 32251 | 代理人： | 刘计成 |
| 地址： | 361000 福建省厦门市火炬*** | 国省代码： | 福建;35 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明公开了一种BH激光器MESA台面的制备方法，其包括如下步骤：1）SIO2掩盖层生长，利用PEALD生长SIO2掩蔽膜；2）MESA光刻；3）SIO2掩盖层蚀刻；4）MESA腐蚀；5）二次外延。该BH激光器MESA台面的制备方法采用PEALD（等离子增强型原子层沉积）生长的SIO2膜层，为原子层面的沉积，相对PECVD生长，膜层更致密，无针孔，其膜层与基片表面粘附性极强，50~100nm膜厚就能满足二次外延的需求，且生长时应力较小，二次外延生长的掩埋层更均匀。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 bh 激光器 mesa 台面 制备 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于全磊光电股份有限公司，未经全磊光电股份有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/202011591704.2/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：一种金属检测型厨余垃圾处理器
- 下一篇：一种正极材料及其制备方法和应用
- 用于数据库系统中大对象基础结构的系统和方法
- 一种制备纯LiNH<sub>2</sub>BH<sub>3</sub>,NaNH<sub>2</sub>BH<sub>3</sub>的方法
- 高纯度LiNH<sub>2</sub>BH<sub>3</sub>,NaNH<sub>2</sub>BH<sub>3</sub>的制备方法
- 高储氢量的氨合硼氢化铝系列储氢材料的制备方法
- 一种超大截面BH组立装置
- 一种红球菌属BH4-海藻酸钠多孔微球的制备方法及其应用
- 一种红细胞膜包封的明胶载盐酸小檗碱纳米粒的制备方法及其应用
- 一种提高硼氢化镁抗氧化性及调控其水解制氢速率的方法
- 玄武岩纤维超混杂复合板
- 一种用于蔬菜残体资源化处理的复配菌剂及其制备方法及应用
