[发明专利]清洗干燥装置有效
| 申请号： | 202011568238.6 | 申请日： | 2020-12-25 |
| 公开（公告）号： | CN112833658B | 公开（公告）日： | 2022-09-16 |
| 发明（设计）人： | 王昭;马宏帅 | 申请（专利权）人： | 北京北方华创微电子装备有限公司 |
| 主分类号： | F26B21/14 | 分类号： | F26B21/14 |
| 代理公司： | 北京国昊天诚知识产权代理有限公司 11315 | 代理人： | 施敬勃 |
| 地址： | 100176 北京市*** | 国省代码： | 北京;11 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本申请实施例公开了一种清洗干燥装置，涉及半导体生产中清洗、干燥的技术领域。一种清洗干燥装置，包括：干燥槽、清洗槽和密封组件，干燥槽和清洗槽相连通并围成工作腔；干燥槽内通入干燥气体，清洗槽内通入清洗液体；清洗干燥装置还包括升降组件，升降组件包括升降臂和支撑件，支撑件位于工作腔内；升降臂包括位于工作腔外的驱动端和位于工作腔内的连接端，连接端与支撑件连接，驱动端用于连接动力源，以驱动支撑件在干燥槽和清洗槽之间移动；密封组件包括密封座和密封件，密封座连接于干燥槽，升降臂可移动地穿设于密封座，密封件设置于升降臂与密封座之间。本申请实施例公开的一种清洗干燥装置有效缓解了IPA蒸汽外泄的技术问题。 | ||
| 搜索关键词： | 清洗 干燥 装置 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于北京北方华创微电子装备有限公司，未经北京北方华创微电子装备有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/202011568238.6/，转载请声明来源钻瓜专利网。
