[发明专利]柔性电容压力传感器及其制备方法有效
| 申请号： | 202011558714.6 | 申请日： | 2020-12-25 |
| 公开（公告）号： | CN112798153B | 公开（公告）日： | 2022-12-23 |
| 发明（设计）人： | 王凤霞;吴志勇;陈涛;孙立宁 | 申请（专利权）人： | 苏州大学 |
| 主分类号： | G01L1/14 | 分类号： | G01L1/14;G01L9/12 |
| 代理公司： | 苏州见山知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 32421 | 代理人： | 袁丽花 |
| 地址： | 215000 *** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种柔性电容传感器及其制备方法。柔性电容传感器包括第一极板，所述第一极板依次包括第一柔性衬底，位于所述第一柔性衬底上的第一弹性微结构，位于所述第一弹性微结构上的第一电极；第二极板，所述第二极板依次包括第二柔性衬底，位于所述第二柔性衬底上的第二弹性微结构，位于所述第二弹性微结构上的第二电极，位于所述第二电极上的介电层；所述第一弹性微结构呈三棱锥状，所述第二弹性微结构呈三棱锥状；所述第一极板与所述第二极板的布置方式使得所述第一弹性微结构的三棱锥状与所述第二弹性微结构的三棱锥状呈正交状。该柔性电容压力传感器能够同时兼顾宽的压力检测范围和高灵敏度。 | ||
| 搜索关键词： | 柔性 电容 压力传感器 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
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