[发明专利]腔体的净化方法、净化设备和电子束曝光装置在审
| 申请号： | 202011555622.2 | 申请日： | 2020-12-24 |
| 公开（公告）号： | CN114675496A | 公开（公告）日： | 2022-06-28 |
| 发明（设计）人： | 张宾 | 申请（专利权）人： | 无锡迪思微电子有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 北京康信知识产权代理有限责任公司 11240 | 代理人： | 霍文娟 |
| 地址： | 214028 江苏省无锡*** | 国省代码： | 江苏;32 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本申请提供了一种腔体的净化方法、净化设备和电子束曝光装置，该方法包括：将颗粒吸附结构送入真空腔体内；向颗粒吸附结构发射预定电荷，使得颗粒吸附结构带上预定电荷，预定电荷为正电荷和/或负电荷；在颗粒吸附结构带上预定电荷预定时间段之后，将颗粒吸附结构送出真空腔体。通过使颗粒吸附结构带上预定电荷，利用静电吸附原理，来吸附真空腔体内的与预定电荷电性相反的颗粒，再将吸附了颗粒的颗粒吸附结构送出真空腔体，相比现有技术，该方法无需打开真空腔体放为大气做清洁，节省了人力成本，并且避免了清洁耗时较长、效率低下的问题，保证了较高效率地对真空腔体的进行清洁。 | ||
| 搜索关键词： | 净化 方法 设备 电子束 曝光 装置 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于无锡迪思微电子有限公司，未经无锡迪思微电子有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/202011555622.2/，转载请声明来源钻瓜专利网。
