[发明专利]深孔和深沟槽的清洗装置及清洗方法有效
| 申请号： | 202011537083.X | 申请日： | 2020-12-23 |
| 公开（公告）号： | CN112657921B | 公开（公告）日： | 2023-01-31 |
| 发明（设计）人： | 康晓旭 | 申请（专利权）人： | 上海集成电路研发中心有限公司 |
| 主分类号： | B08B3/02 | 分类号： | B08B3/02;B08B3/08;B08B13/00;F26B5/08;H01L21/67;H01L31/18 |
| 代理公司： | 上海天辰知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 31275 | 代理人： | 吴世华;尹一凡 |
| 地址： | 201210 上*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明提供一种深孔和深沟槽的清洗装置及清洗方法，包括具有前开口和侧开口的盆状镂空支架，枢接件带动所述盆状镂空支架相对于所述喷嘴装置以一角度设置；旋转轴通过所述枢接件带动所述盆状镂空支架相对于所述旋转轴的轴心旋转；喷嘴装置，包括垂直于所述盆状镂空支架上方设置的上喷嘴，利用重力和离心力将硅片上的水甩出，使得位于深沟槽底部或深孔底部的药液或水快速甩干，具有显著的意义。 | ||
| 搜索关键词： | 深沟 清洗 装置 方法 | ||
【主权项】：
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