[发明专利]一种弹性晶片的制造方法在审
| 申请号： | 202011526691.0 | 申请日： | 2020-12-22 |
| 公开（公告）号： | CN112626616A | 公开（公告）日： | 2021-04-09 |
| 发明（设计）人： | 徐百 | 申请（专利权）人： | 苏州纳通生物纳米技术有限公司 |
| 主分类号： | C30B29/06 | 分类号： | C30B29/06;C30B15/00 |
| 代理公司： | 苏州铭浩知识产权代理事务所(普通合伙) 32246 | 代理人： | 张一鸣 |
| 地址： | 215000 江苏省苏州市工业*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种弹性晶片的制造方法，包括：单晶硅的制备、纳米微加工；所述单晶硅的制备包括：S1清洁处理、S2装炉、S3熔化、S4引晶、S5缩径、S6放肩、S7等径生长、S8收尾；所述S1清洁处理：将炉体、籽晶、硅多晶、掺杂剂、石英坩埚进行清洁处理；所述S2装炉：将多晶硅和掺杂剂置入单晶炉内的石英坩埚中；所述S3熔化：当装炉结束关闭单晶炉门后，抽真空使单晶炉内保持在一定的压力范围内，驱动石墨加热系统的电源；本发明通过对弹性晶片的制造方法的改进，具有设计合理，易于实现、便于加工生产，制得晶片安全、无痛、无创、便于使用，促进吸收，提高护理效果的优点，从而有效的解决了本发明提出的问题和不足。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 弹性 晶片 制造 方法 | ||
【主权项】：
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