[发明专利]一种光束质量分析仪和激光发射器振镜校准方法在审
| 申请号： | 202011518397.5 | 申请日： | 2020-12-21 |
| 公开（公告）号： | CN112611450A | 公开（公告）日： | 2021-04-06 |
| 发明（设计）人： | 李陵江;田辉;肖群;王敏;裴浩 | 申请（专利权）人： | 广州安特激光技术有限公司 |
| 主分类号： | G01J1/42 | 分类号： | G01J1/42;G01J1/04;G01M11/00 |
| 代理公司： | 广州海心联合专利代理事务所(普通合伙) 44295 | 代理人： | 黄为;黄修远 |
| 地址： | 510000 广东省广州市广*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种光束质量分析仪和激光发射器振镜校准方法。分析仪包括壳体和能将光束分成主光束和待分析光束的分光结构，壳体上沿光路方向依次设有物镜、分光结构和摄像头；壳体上还设有位于分光结构一侧的主光束出光孔。分析校准方法包括从激光发射器射出的光束中抽取光束分量形成待分析光束，照射在基准面的原点并形成光斑；让激光发射器中的振镜扫描一定角度，获得光斑实际移动距离，并计算光斑实际移动距离与光斑理想移动距离的差值。本发明提供的光束质量分析仪和激光发射器振镜校准方法，能快速获得光束的光斑图像，有利于提高对光束质量分析的准确性，从而提高对激光发射器的校准效率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 光束 质量 分析 激光 发射器 校准 方法 | ||
【主权项】：
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