[发明专利]一种光束质量分析仪和激光发射器振镜校准方法

权利要求书

1.一种光束质量分析仪，其特征在于，包括壳体(1)和能将光束分成主光束和待分析光束的分光结构(3)，所述壳体(1)上沿光路方向依次设有物镜(2)、所述分光结构(3)和摄像头(7)；壳体(1)上还设有位于分光结构(3)一侧的主光束出光孔(11)。

2.根据权利要求1所述的一种光束质量分析仪，其特征在于，所述分光结构(3)包括第一棱镜(31)；所述第一棱镜(31)的入光反射面朝向所述物镜(2)，第一棱镜(31)的出光面朝向所述出光孔(11)；所述摄像头(7)设置在所述待分析光束所在的路径上。

3.根据权利要求2所述的一种光束质量分析仪，其特征在于，所述分光结构(3)还包括第二棱镜(32)；所述第二棱镜(32)位于物镜(2)与第一棱镜(31)之间的光路一侧，第一棱镜(31)的入光反射面与摄像头(7)的镜头均朝向第二棱镜(32)的反光面。

4.根据权利要求1或2或3所述的一种光束质量分析仪，其特征在于，所述壳体(1)上还设有位于所述分光结构(3)与摄像头(7)之间的光衰减结构(6)。

5.根据权利要求4所述的一种光束质量分析仪，其特征在于，所述光衰减结构(6)包括至少一块衰减片。

6.根据权利要求5所述的一种光束质量分析仪，其特征在于，所述壳体(1)上设有插槽；所述衰减片设置在安装架(8)上，所述安装架(8)与壳体(1)上的插槽插接配合。

7.根据权利要求1所述的一种光束质量分析仪，其特征在于，所述壳体(1)上通过连接件(5)连接有挡光板(4)，所述挡光板(4)位于所述物镜(2)入光端的一侧；所述挡光板(4)上设有与物镜(2)的入光端正对的通光孔(41)。

8.一种激光发射器振镜校准方法，其特征在于包括以下步骤：

步骤a：从激光发射器(10)射出的光束中抽取光束分量形成待分析光束，让待分析光束照射在基准面的原点并形成光斑；

步骤b：让激光发射器(10)中的振镜(12)扫描一定角度，所述基准面上的光斑相对原点偏移一段距离，获得光斑实际移动距离；

步骤c：计算光斑实际移动距离与光斑理想移动距离的差值。

9.根据权利要求8所述的一种光束质量分析校准方法，其特征在于，步骤b中所述基准面上的光斑相对原点偏移一段距离后，步骤b还包括使激光发射器(10)与基准面相对移动，直至所述光斑重新照射在基准面原点，获取光斑实际移动距离；将步骤b重复多次，修正光斑实际移动距离的数值。

10.根据权利要求8或9所述的一种光束质量分析校准方法，其特征在于，将所述光斑实际移动距离与光斑理想移动距离的差值输入激光发射器(10)自带的软件，激光发射器(10)通过软件实现振镜(12)的校准。