[发明专利]真空吸附式环形末端夹持器在审
| 申请号： | 202011517093.7 | 申请日： | 2020-12-21 |
| 公开（公告）号： | CN112606031A | 公开（公告）日： | 2021-04-06 |
| 发明（设计）人： | 何瑞;郭梅;刘丹;韩浚源 | 申请（专利权）人： | 昀智科技（北京）有限责任公司 |
| 主分类号： | B25J15/06 | 分类号： | B25J15/06 |
| 代理公司： | 北京中索知识产权代理有限公司 11640 | 代理人： | 胡大成 |
| 地址： | 102300 北京市门头*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明公开一种真空吸附式环形末端夹持器，包括：法兰和吸盘；法兰，用于安装外部结构；吸盘包括第一吸盘和第二吸盘,第一吸盘和第二吸盘相对设置呈环形结构,并分别与法兰的两端连接呈一体结构。通过实施本发明的技术方案，环形吸盘通过三个触盘与晶圆片的边缘区域接触，形成三点的稳定接触，可以有效提高吸盘对晶圆片整个表面的支撑，避免晶圆片的变形，提高夹持晶圆片的稳定性；三个沟槽通过各自的抽气孔与气道连通，共同使用相同的气源，形成稳定均匀的吸附力从晶圆片的边缘区域来吸附晶圆；在环形吸盘上还设置有限位块，在搬运过程中因事故或意外导致晶圆片与吸盘松脱时，对晶圆片起到限位和保护的作用。 | ||
| 搜索关键词： | 真空 吸附 环形 末端 夹持 | ||
【主权项】：
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