[发明专利]太鼓环切机台的太鼓环回收装置在审
| 申请号： | 202011501808.X | 申请日： | 2020-12-18 |
| 公开（公告）号： | CN112720890A | 公开（公告）日： | 2021-04-30 |
| 发明（设计）人： | 陈旋;苏亚青;谭秀文;肖酉 | 申请（专利权）人： | 华虹半导体（无锡）有限公司 |
| 主分类号： | B28D7/00 | 分类号： | B28D7/00;H01L21/67 |
| 代理公司： | 上海浦一知识产权代理有限公司 31211 | 代理人： | 郭四华 |
| 地址： | 214028 江*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种太鼓环切机台的太鼓环回收装置，包括：设置在太鼓环回收桶中的升降单元；升降单元的顶部表面到太鼓环回收桶的顶部开口之间的区域为回收区域；太鼓环从太鼓环回收桶的顶部开口采用掉落的方式收集到回收区域中；升降单元的顶部表面具有上下升降功能，在回收区域未收集太鼓环时升降单元的顶部表面最高，随着回收数量增加，升降单元的顶部表面逐渐降低。本发明能降低回收太鼓环时太鼓环时掉落高度从而能降低碎片率或者基本不碎片，同时还不会影响太鼓环回收装置的容积；还能在太鼓环回收装置装满之前及时对太鼓环回收装置清理，从而能防止发生装满报警以及由此产生的机台急停和晶圆返工缺陷。 | ||
| 搜索关键词： | 太鼓环切 机台 太鼓环 回收 装置 | ||
【主权项】：
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