[发明专利]晶圆清洗、干燥设备及其使用方法

摘要

本发明提供一种晶圆清洗、干燥设备及其使用方法，用于解决现有技术中晶圆表面污染物的清洗和干燥时不彻底且效率不高的问题。包括主体机构、清洗机构和干燥机构，第一驱动组件驱动第一转轴转动，相邻两个第一支架通过第一转动杆连接且相邻两个第一转动杆能够的齿轮相互啮合，相邻两个第二支架支架通过第二转动杆连接。第一支架与第二支架通过第一传动件连接，第一传动件上固设有多个晶圆固定架，清洗池位于第一转轴正下方，排气管向晶圆+表面排出干热的气体，将晶圆表面清洗液及清洗液中的杂质一起吹走，避免清洗液中的杂质对晶圆造成二次污染，晶圆清洗和干燥的时间是一样的，使得不同隔板内的晶圆清洗和干燥同步进行，极大的提高了清洗效率。