[发明专利]一种与锗结合的空间用砷化镓太阳电池电极制备方法

摘要

本发明提供一种与锗结合的空间用砷化镓太阳电池电极制备方法，包括腐蚀以锗为衬底的外延片，用真空法在外延片的非有源表面制备金接触层和银层，用电镀法在银层上制备银加厚层，最后进行将制备好银加厚层的外延片进行热处理，得到与锗结合的空间用砷化镓太阳电池电极。本发明的有益效果是：该电极能够采用真空法(真空蒸镀法或磁控溅射法等)和非真空法(电镀法等液相生长薄膜的方法)相结合进行制备，能提高材料利用率、降低生产成本、在不采购大型设备的前提下提高产能；能够实现电极和衬底材料间形成欧姆接触，并且接触面间牢固度满足空间使用要求；产品可靠性高。