[发明专利]一种磁旋转弧等离子体制备纳米硅球、纳米硅线的方法有效
| 申请号： | 202011475909.4 | 申请日： | 2020-12-14 |
| 公开（公告）号： | CN112591755B | 公开（公告）日： | 2022-10-04 |
| 发明（设计）人： | 杨启炜;闻光东;吴剑骅;张铭;李如龙;徐响;任其龙 | 申请（专利权）人： | 衢州晶洲科技发展有限公司;浙江大学衢州研究院 |
| 主分类号： | C01B33/021 | 分类号： | C01B33/021;B82Y40/00 |
| 代理公司： | 杭州天勤知识产权代理有限公司 33224 | 代理人： | 胡红娟 |
| 地址： | 324000 浙*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种磁旋转弧等离子体制备纳米硅球、纳米硅线的方法，包括步骤：(1)工作气体通入等离子体炬内，经起弧后在外加磁场的作用下形成磁旋转弧等离子体；(2)以微米级的多晶硅粉体作为原料，以输送气体作为载气通入等离子炬，穿过步骤(1)所形成的磁旋转弧等离子体高温区熔融气化；(3)经步骤(2)处理后的产物随载气进入冷却室，通过喷嘴喷入淬冷气体进行冷却降温，得到纳米硅粉；所述纳米硅粉微观形貌为纳米硅球或纳米硅线。本发明方法以微米级的多晶硅粉体作为原料，能够制备出形貌可控的纳米硅球及纳米硅线，工艺简单、安全环保、过程连续可控、成本低廉，适用于纳米硅粉的大规模工业化生产。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 旋转 等离子体 制备 纳米 方法 | ||
【主权项】：
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